主讲人：王序进院士

时间：2023年6月8日（星期四）下午3点

地点：莲峰讲堂

主办单位：中山市科学技术协会

承办单位：中山市计算机学会

协办单位：计算机学院、电子信息学院、威尼斯569vip游戏下载科学技术协会、威尼斯569vip游戏下载大学科技园

报告摘要：

半导体产业伴随摩尔定律经过近六十年，大力推动了计算机、智能手机、人工智能等各个领域的迅猛发展。当进入到28纳米节点制程工艺以后，虽然晶体管密度在增大，但一直面临着性能提升缓慢、成本大幅度增大、投资巨大、制造厂家减少、应用客户减少等诸多问题。为了在性能上“超越摩尔”，需大力发展先进封装、异质异构集成等技术路径。大湾区作为国内半导体芯片主要消费地，加快发展半导体产业具有广阔前景。

主讲人简介：

王序进院士，现任深圳大学微电子研究院院长、半导体制造研究院院长，长年从事微纳加工、芯片制造核心工艺和设备的研发，是该领域的世界级顶尖专家。在齿轮精密加工领域研发成功了高效经济成型磨齿工艺，获得中国首届青年科技奖。在半导体制程领域研发成功了用于低k绝缘层平坦化的全世界最低压CMP制程工艺和设备，这一成果得到国际CMP业界高度评价，并获得日本精密工学会技术奖。